[发明专利]不同定位方向的压电片轮流叠放的压电堆栈定位器无效
| 申请号： | 201110148108.1 | 申请日： | 2011-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN102810628A | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 陆轻铀 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | H01L41/083 | 分类号： | H01L41/083 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230031 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明不同定位方向的压电片轮流叠放的压电堆栈定位器，包括X定位压电片，Y定位压电片，其特征是所述X定位压电片和Y定位压电片交替叠放固定成堆栈结构，其中X定位压电片之间的连接为机械串联且电学并联，Y定位压电片之间的连接也为机械串联且电学并联。本发明也可由X定位压电片、Y定位压电片和Z定位压电片三者轮流叠放固定成堆栈，构成三个定位方向的压电片轮流叠放的压电堆栈定位器。本发明各个一维定位压电堆栈定位器互为负载且负载相同，所以在各个不同定位方向上定位完全对称，从根本上消除了成像畸变、温漂，提高了定位精度，同时保持了压电堆栈定位器特有的优越特性。 | ||
| 搜索关键词： | 不同 定位 方向 压电 轮流 叠放 堆栈 定位器 | ||
【主权项】：
一种不同定位方向的压电片轮流叠放的压电堆栈定位器，包括X定位压电片，Y定位压电片，其特征是所述X定位压电片和Y定位压电片交替叠放固定成堆栈结构，其中X定位压电片之间的连接为机械串联且电学并联，Y定位压电片之间的连接也为机械串联且电学并联。
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