[发明专利]一种基于导模共振结构设计的高分辨率角度测量方法有效
| 申请号： | 201110151799.0 | 申请日： | 2011-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN102221328A | 公开（公告）日： | 2011-10-19 |
| 发明（设计）人： | 杨惠尹;张大伟;胡金兵;陶春先;王琦;黄元申;庄松林 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | G01B9/10 | 分类号： | G01B9/10;G01B11/26 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 吴宝根 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于导模共振结构设计的高分辨率角度测量方法，制作导模共振滤波器，通过测试得到导模共振滤波器特有固定的S值，利用导模共振滤波器对于入射光的角度敏感性来实现高分辨率的角度测量，为精密测量提供了另一途径。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 共振 结构设计 高分辨率 角度 测量方法 | ||
【主权项】：
一种基于导模共振结构设计的高分辨率角度测量方法，其特征在于，光源通过发射光纤探头将入射光以入射角度θ1入射到导模共振滤波器表面，通过反射光接收器接收反射光，送入光谱仪得到反射光的光谱，得到光谱中最高点，即峰值，从中测得对应的峰值波长λ1；然后改变入射光线的入射角度Δθ以θ2的角度入射，同理得到另一个峰值波长为λ2，即可得到峰值波长的移动量Δλ=λ2‑λ1；通过公式S=Δθ/Δλ，得到导模共振滤波器的固定的S值；将需要测试角度的物体放入高分辨率导模共振角度测微仪入射光路中，入射的两束光线分别和待测物体的角度的两个边平行，通过高分辨率导模共振角度测微仪中光谱仪得到被测角度在导模共振滤波器表面上反射的波长差Δλ，可得所测试角度Δθ=Δλ*S。
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