[发明专利]流体探针

摘要

本发明涉及一种流体探针，具体地是一种用于测量流体性质的装置，制造方法以及操作方法。所述装置包括主体区，第一挠性元件和第二挠性元件。每一个挠性元件具有第一末端和第二末端，所述第一末端固定地位于主体区上。每一个挠性元件可以通过该元件的弯曲而从至少第一相应构造运动到第二相应构造。所述第一挠性元件包括配置用于使挠性元件在第一构造和第二构造之间运动的驱动部。所述第二挠性元件包括用于传感挠性元件的运动的集成运动传感器。在远离所述主体区的位置，将所述第一挠性元件联接到所述第二挠性元件。仅所述第一挠性元件的驱动部是可操作的以使所述第一和第二挠性元件运动。

主权项

一种用于检测流体性质的装置，所述装置包括：主体区；第一挠性元件和第二挠性元件，每一个挠性元件具有第一末端和第二末端，所述第一末端固定地位于所述主体区上，并且每一个挠性元件能够通过该元件的弯曲而从至少第一相应构造运动到第二相应构造；所述第一挠性元件包括配置用于使所述挠性元件在所述第一构造和所述第二构造之间运动的驱动部；所述第二挠性元件包括用于传感挠性元件的运动的集成运动传感器，并且其中，在远离所述主体区的位置，将所述第一挠性元件联接到所述第二挠性元件，并且仅所述第一挠性元件的驱动部是可操作的以使所述第一和第二挠性元件运动；其中，所述第一和第二挠性元件之间的空隙部分地由另一种材料填充，从而形成孔，所关注的流体可以经由所述孔流动。