[发明专利]微机电装置无效
| 申请号： | 201110157546.4 | 申请日： | 2011-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN102807189A | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 吴嘉昱;林炯彣;翁焕翔 | 申请（专利权）人： | 矽创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈松涛;韩宏 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明的微机电装置包括微感测模块及电连接微感测模块的处理电路。微感测模块包括具有多个第一电极板的固定部、移动部及弹性体。移动部包括第二电极板、第三电极板及质量块。处理电路对应第二电极板与第一电极板之间距离及第三电极板与第一电极板之间距离的关联性传送一信号。当微机电装置的放置位置改变时，第二电极板及第三电极板移动，而改变第二电极板与第一电极板之间的距离及第三电极板与第一电极板之间的距离。第二电极板平行方向与弹性体平行方向及第三电极板平行方向与弹性体平行方向的夹角分别介于6～84度。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 装置 | ||
【主权项】：
一种微机电装置，包括：微感测模块，包括：固定部，包括多个第一电极板；移动部，包括：至少一个第二电极板，平行于第一方向，与所述第一电极板之间具有第一距离；至少一个第三电极板，平行于第二方向，与所述第一电极板之间具有第二距离；质量块，连接所述第二电极板及所述第三电极板；及至少一个弹性体，平行于第三方向，连接所述固定部及所述质量块；及处理电路，电连接所述微感测模块，对应所述第一距离及所述第二距离的关联性传送一信号；其中，当所述微机电装置的放置位置改变至一位置上时，所述第二电极板及所述第三电极板移动，而改变所述第一距离及所述第二距离，所述第一方向与所述第三方向及所述第二方向与所述第三方向的夹角分别介于6～84度。
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