[发明专利]反射折射投影物镜有效
| 申请号： | 201110158559.3 | 申请日： | 2005-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN102169226A | 公开（公告）日： | 2011-08-31 |
| 发明（设计）人： | D·谢弗;W·乌尔里希;A·多多克;R·冯比瑙;H·-J·曼;A·埃普勒 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B17/08 | 分类号： | G02B17/08;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种反射折射投影物镜。一种投影物镜，用于将提供在所述投影物镜的物面中的图形成像到所述投影物镜的像面上，包括：第一物镜部分，用于将提供在所述物面中的图形成像为第一中间图像；第二物镜部分，用于将第一中间图像成像为第二中间图像；以及第三物镜部分，用于将第二中间图像成像到所述像面上；其中，所述投影物镜包括正好两个凹面镜和正好两个中间图像，并且其中，所述投影物镜是没有光瞳昏暗的清楚的系统。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 折射 投影 物镜 | ||
【主权项】：
一种投影物镜，用于将提供在所述投影物镜的物面中的图形成像到所述投影物镜的像面上，包括：第一物镜部分，用于将提供在所述物面中的图形成像为第一中间图像；第二物镜部分，用于将第一中间图像成像为第二中间图像；以及第三物镜部分，用于将第二中间图像成像到所述像面上；其中，所述投影物镜包括正好两个凹面镜和正好两个中间图像，并且其中，所述投影物镜是没有光瞳昏暗的清楚的系统。
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