[发明专利]高密度等离子体化学气相淀积设备的腔体检漏方法

摘要

本发明公开了一种高密度等离子体化学气相淀积设备的腔体检漏方法，在生产工艺步骤中增加腔体检漏工艺，腔体检漏工艺自动执行并实时报警；当腔体检漏工艺得到的测量结果超标时，高密度等离子体化学气相淀积设备发出警报并使生产工艺步骤停止执行；当腔体检漏工艺得到的测量结果正常时，生产工艺步骤继续执行。本发明能降低检漏的时间、提高设备的产能，能够使检漏的实施达到可控并能通过自动的规格管理来有效避免产品事故的发生，使产品的质量得到保证。

主权项

一种高密度等离子体化学气相淀积设备的腔体检漏方法，其特征在于：在生产工艺步骤中增加腔体检漏工艺，所述腔体检漏工艺自动执行并实时报警；当所述腔体检漏工艺得到的测量结果超标时，高密度等离子体化学气相淀积设备发出警报并使所述生产工艺步骤停止执行；当所述腔体检漏工艺得到的测量结果正常时，所述生产工艺步骤继续执行。