[发明专利]可提升太阳能电池转化效率的雷射划线定位技术方法

摘要

本发明为一种可提升太阳能电池转化效率的雷射划线定位技术方法，包含基板进出传送装置，夹持装置，对位CCD系统，laser划线系统及十字定位刻线。此技术方法先于第一道雷射制程中增加刻划十字定位刻线，后续雷射刻线制程设备均以此十字定位刻线为基淮，以完成相对应雷射刻线制程。本发明系以增加雷射刻线十字定位线，避免各设备因为结构上机械误差，而造成基板侧边定位精准度不同所成的定位变异，完成一种提高各设备刻线之相互平行度，有效提高光电转化效率区之利用，进而提升太阳能电池效率。是一种可有效提升太阳能电池转化效率的雷射划线定位技术方法。

主权项

本发明系一种可提升太阳能电池转化效率的雷射划线定位技术方法，其技术方法包含基板进出传送装置，夹持装置，对位CCD，laser划线系统及十字定位刻线，先将基板置放于第一道雷射制程设备基板进出传装置，传到定点并给予夹持装置夹持。通过laser划线系统计算于基板的其中一角落进行十字定位刻线，再以定位CCD确认十字定位刻线X/Y轴方向，再经laser划线系统计算以十字定位刻线为基准线，第一道雷射制程的起始刻划位置并进行第一道雷射制程刻划，刻划完成后放开夹持部，由基板进出传送装置传送出。基板欲进行制备第二道雷射制程时，将基板置放于第二道雷射制程设备基板进出传装置进出传装置，传到定点并给予夹持夹持装置夹持，以定位CCD确认十字定位刻线X/Y轴方向，经由laser划线系统计算以十字定位刻线为基准线，第二道雷射制程的起始刻划位置并进行第二道雷射制程刻划，刻划完成后放开夹持部，由基板进出传送装置传送出。后续不论第n道雷射制程流程均同于第二道雷射制程。藉以增加雷射刻线十字定位线，免除基板侧边定位精度不同造成影响，而提高各设备刻线相互平行度，完成一种可提升太阳能电池转化效率的雷射划线定位技术方法；有效提高光电转化效率区利用，进而提升太阳能电池效率。