[发明专利]光源寿命监测系统及其监测方法

摘要

本发明提出一种光源寿命监测系统及其监测方法，用于监测并预估光源的寿命。光源寿命监测系统包括反射率恒定的光反射板和检测单元。光源发出的光线被光反射板反射至检测单元，检测单元得到光强信号。在一定时间间隔内，周期性地将光反射板设置在同一位置，记录光强信号与初始光强信号的比值为光反射板响应参数。拟合光反射板响应参数与时间的曲线，以预估光反射板响应参数等于报废界限阈值的报废时间。本发明在光刻机的日常维护操作时期，对其光电测量系统的照明光源进行监测，根据光强信号的衰减速率，预测并验证其报废时间，提醒用户按时更换。这样，光源能发挥最大工作寿命，不影响光刻机的产率与性能，不增加任何操作复杂度。

主权项

一种光源寿命监测系统，用于监测并预估光源的寿命，其特征是，包括：光反射板，所述光反射板的反射率恒定；以及检测单元，所述光源发出的光线被所述光反射板反射至所述检测单元，所述检测单元得到光强信号，在一定时间间隔内，周期性地将所述光反射板设置在同一位置，记录所述光强信号与初始光强信号的比值为所述光反射板响应参数，拟合所述光反射板响应参数与时间的曲线，以预估所述光反射板响应参数等于报废界限阈值的报废时间。