[发明专利]测量装置有效
| 申请号： | 201110160053.6 | 申请日： | 2011-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN102288335A | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | 谭瑞敏;刘汉诚;谢明哲;李暐;戴明吉 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;G01B7/16 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种测量装置，其包括一第一芯片、一第一线路层、一第一加热元件、一第一应力感测器以及一第二线路层。第一芯片具有一第一导通孔及相对的一第一表面与一第二表面。第一线路层配置于第一表面。第一加热元件配置于第一表面并电连接第一线路层。第一应力感测器配置于第一表面并电连接第一线路层。第二线路层配置于第二表面。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种测量装置，包括：第一芯片，具有第一导通孔及相对的一第一表面与一第二表面；第一线路层，配置于该第一表面；第一加热元件，配置于该第一表面并电连接该第一线路层；第一应力感测器，配置于该第一表面并电连接该第一线路层；以及第二线路层，配置于该第二表面。
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