[发明专利]三氯氢硅汽化装置无效
| 申请号： | 201110160672.5 | 申请日： | 2011-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN102285656A | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | 刘畅;王岭;张维;刘维 | 申请（专利权）人： | 四川新光硅业科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 四川力久律师事务所 51221 | 代理人： | 刘雪莲;林辉轮 |
| 地址： | 614000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及到多晶硅生产装置，具体地说涉及到一种三氯氢硅的汽化装置，属于多晶硅生产技术领域。本发明的三氯氢硅汽化装置，包括蒸发器、氢气输送管、三氯氢硅液体输送管、三氯氢硅气体输送管、混合气输送管、混合器，蒸发器的下端设有三氯氢硅液体入口、上端设置有三氯氢硅气体出口；三氯氢硅液体入口与三氯氢硅液体输送管相连通；三氯氢硅液体输送管、氢气输送管上均设置有计量器；混合器分别与氢气输送管、三氯氢硅气体输送管以及混合气输送管相连通。利用本发明的三氯氢硅汽化装置对三氯氢硅进行汽化，可以得到配比稳定、混合均匀的混合气；原料的混合更均匀，有利于还原炉的还原反应中硅棒的均匀生长，生产出的晶粒外观质量较好。 | ||
| 搜索关键词： | 三氯氢硅 汽化 装置 | ||
【主权项】：
一种三氯氢硅汽化装置，包括蒸发器、氢气输送管、三氯氢硅液体输送管、三氯氢硅气体输送管及混合气输送管，其特征在于：该三氯氢硅汽化装置还包括混合器，蒸发器的下端设有三氯氢硅液体入口、上端设置有三氯氢硅气体出口；三氯氢硅液体入口与三氯氢硅液体输送管相连通；三氯氢硅液体输送管、氢气输送管上均设置有计量器；混合器分别与氢气输送管、三氯氢硅气体输送管以及混合气输送管相连通。
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