[发明专利]用于晶圆的刷洗装置

摘要

本发明公开了一种用于晶圆的刷洗装置，所述用于晶圆的刷洗装置包括：机架；支撑件，支撑件设在机架上以用于使晶圆可旋转地支撑于支撑件上；以及第一和第二毛刷组件，第一和第二毛刷组件相对地且间隔开地安装在机架上以分别用于刷洗晶圆的两侧表面，其中第一毛刷组件和第二毛刷组件各自包括：主动旋转盘，主动旋转盘可旋转地安装在机架上；毛刷，毛刷可旋转地安装在主动旋转盘上且主动旋转盘的旋转轴线平行于毛刷的旋转轴线；和驱动组件，驱动组件分别与主动旋转盘和毛刷相连以分别驱动主动旋转盘和毛刷绕各自的旋转轴线旋转。根据本发明实施例的用于晶圆的刷洗装置可以保持毛刷的表面润湿，从而提高晶圆的清洗效果。

主权项

一种用于晶圆的刷洗装置，其特征在于，包括：机架；支撑件，所述支撑件设在所述机架上以用于使所述晶圆可旋转地支撑于所述支撑件上；以及第一和第二毛刷组件，所述第一和第二毛刷组件相对地且间隔开地安装在所述机架上以分别用于刷洗晶圆的两侧表面，其中所述第一毛刷组件和所述第二毛刷组件各自包括：主动旋转盘，所述主动旋转盘可旋转地安装在所述机架上；毛刷，所述毛刷可旋转地安装在所述主动旋转盘上且所述主动旋转盘的旋转轴线平行于所述毛刷的旋转轴线，以在所述主动旋转盘的带动下使所述毛刷绕所述主动旋转盘的旋转轴线进行公转；和驱动组件，所述驱动组件分别与所述主动旋转盘和所述毛刷相连以分别驱动所述主动旋转盘和所述毛刷绕各自的旋转轴线旋转。