[发明专利]基于望远系统的激光多自由度精密测量系统

摘要

本发明涉及基于望远系统的激光多自由度精密测量系统。该系统包括移动机构和固定机构，移动机构产生三束平行光；固定机构包括并列排列的第一测量望远机构、第二测量望远机构、第三测量望远机构，三个测量望远机构的入射口分别与移动机构发出的三束平行光对应，出射口分别对应设有光电接收器，第二测量望远机构的出射口与光电接收器之间依次设有两个反射器和一个透镜。本发明用于测量垂直于行进方向的两个直线度误差和三个角度误差，光路调整简单；光学器件少，结构简单、体积小，安装调整方便，可获得高精度快速的测量；本装置还可以与激光干涉仪等测长技术一起完成六自由度全姿态的测量。

主权项

基于望远系统的激光多自由度精密测量系统，包括移动机构（1），由激光器、一个以上的分束器和反射器组成，产生三束平行光，其特征在于：还包括固定机构（7）：所述固定机构（7）包括并列排列的第一测量望远机构（15）、第二测量望远机构（16）、第三测量望远机构（9），且光束的入射口均位于同一侧，出射口均位于另一侧；第一测量望远机构（15）的出射口外侧对应处设有第一光电接收器（14）；第二测量望远机构（16）的出射口外侧对应设有第一反射器（13），第一反射器（13）的反射口外侧对应设有第二反射器（12），第二反射器（12）的反射口外侧对应设有透镜（11），透镜（11）的出射口对应设有第二光电接收器（8）；第三测量望远机构（9）的出射口外侧对应设有第三光电接收器（10）；所述第一测量望远机构（15）、第二测量望远机构（16）和第三测量望远机构（9）为望远镜系统：其中第一测量望远机构（15）和第三测量望远机构（9）的入射口均为目镜，出射口均为物镜；第二测量望远机构（16）的入射口为物镜，出射口为目镜。