[发明专利]化学气相沉积外延设备用的喷淋头结构

摘要

本发明涉及一种化学气相沉积外延设备用的喷淋头结构，它包括层叠设置的上层进气层、至少一中间进气层和下层冷却层；上层进气层中设有上层进气槽，该上层进气槽与至少一上层进口管和至少一上层出口管连通，上层出口管上端与上层进气槽连通，下端由中间进气层和冷却层中垂直穿出；中间进气层中设有中间进气槽，该中间进气槽与至少一中间进口管和至少一中间出口管连通，第一出口管上端与中间进气槽连通，下端由冷却层中垂直穿出；中间出口管同轴套设于对应上层出口管上，且该上层出口管和中间出口管之间留有环形间隙。本发明加工工艺简单，拆装维护方便，清洗彻底，并能在均匀进气的同时抑制预反应，可为各类化学气相沉积工艺提供可靠的硬件支持。

主权项

一种化学气相沉积外延设备用的喷淋头结构，其特征在于：它包括层叠设置的上层进气层、至少一中间进气层和下层冷却水层；其中，所述上层进气层中设有上层进气槽，该上层进气槽与至少一上层进口管和至少一上层出口管连通，所述上层出口管上端与上层进气槽连通，下端由中间进气层和下层冷却层中垂直穿出；所述中间进气层中设有中间进气槽，该中间进气槽与至少一中间进口管和至少一中间出口管连通，所述第一出口管上端与中间进气槽连通，下端由下层冷却层中垂直穿出；所述中间出口管同轴套设于对应的上层出口管上，且该上层出口管和该中间出口管之间留有环形间隙。