[发明专利]可分离式腔体有效
| 申请号： | 201110163125.2 | 申请日： | 2007-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN102230155A | 公开（公告）日： | 2011-11-02 |
| 发明（设计）人： | 李在珠;栗田真一;约翰·M·怀特;苏希尔·安瓦尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;钟强 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 可分离式腔体,本发明的实施方式包括一腔体，该腔体的顶部或底部至少其中之一与腔体侧壁分离。本发明适于用作真空交换腔、基板传递腔和真空处理腔等。 | ||
| 搜索关键词： | 可分离 式腔体 | ||
【主权项】：
一种真空交换腔，包含：第一腔体，其具有四面壁、一个开口顶部和一个开口底部；底板，其设置在所述第一腔体下部，以间隔关系设置所述底板和所述第一腔体；第一密封件，其围绕所述开口底部，并用于密封连接所述底板和所述第一腔体；第一板，其设置在所述第一腔体上部，所述第一板和所述第一腔体以密封间隔关系设置；第二腔体，其设置在所述第一板上部；第二密封件，其密封连接所述第一板和所述第二腔体；第二板，其设置在所述第一腔体上部，所述第二板和所述第二腔体以间隔关系设置；以及第三密封，其密封连接所述第二板和所述第二腔体。
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