[发明专利]一种具有湿度敏感特性的无铅压电材料无效
| 申请号： | 201110163323.9 | 申请日： | 2011-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN102826761A | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 甄玉花;王萌萌;王盛;薛庆忠 | 申请（专利权）人： | 中国石油大学(华东) |
| 主分类号： | C03C17/22 | 分类号： | C03C17/22;C04B41/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 257061 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种具有湿度敏感特性的无铅压电材料，其特征是将成分为Lix(K0.48Na0.52)1-x(Nb1-yTay)O3(x范围从0～0.1，y范围从0～0.2)铌酸钾钠基陶瓷靶溅射沉积到单晶(硅、蓝宝石、二氧化钛等)或玻璃衬底表面，形成厚度为50～500纳米的薄膜。该成分的铌酸钾钠基无铅压电材料具有湿度敏感特性，在低频下，电学参量(电容、阻抗等)与相对湿度具有较好的线性关系，且吸湿、脱湿响应速度快，可以用于制备湿敏元件，环境友好，结构简单，生产工艺简单，成品率高，具有广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 湿度 敏感 特性 压电 材料 | ||
【主权项】：
一种具有湿度敏感效应的无铅压电薄膜材料，其特征是在厚度为0.3～1.0毫米的单晶或玻璃衬底上，形成一层厚度为50～500纳米的铌酸钾钠基无铅压电薄膜材料，该薄膜为化学计量成分为Lix(K0.48Na0.52)1‑x(Nb1‑yTay)O3(x范围从0～0.1，y范围从0～0.2)的烧结块体靶低温磁控溅射形成。
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