[发明专利]光刻机硅片台驱动装置有效
| 申请号： | 201110165086.X | 申请日： | 2011-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN102830591A | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 刘育 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明揭示了一种光刻机硅片台驱动装置，包括：安装座，其两端之间设置有连接架；驱动单元，设置于所述安装座的一端；连接板，一端连接于所述驱动单元，另一端向所述连接架延伸；簧片，一端设置于所述连接架上，另一端连接滚轮单元，两端之间设置有顶板，且，所述驱动单元驱动连接板向连接架方向运动，使该连接板的另一端将力作用于所述顶板上。该驱动装置结构筒单，垂向尺寸小，垂向位置可收回，能实现快速、简便自如地移动硅片台。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 硅片 驱动 装置 | ||
【主权项】：
一种光刻机硅片台驱动装置，其特征是，包括：安装座，设置有连接架；驱动单元，设置于所述安装座的一端；连接板，一端连接于所述驱动单元，另一端向所述连接架延伸；簧片，一端连接于所述连接架上，另一端连接滚轮单元，所述簧片中间延伸有顶板，且，所述驱动单元驱动连接板向连接架方向运动，使该连接板的另一端将力作用于所述顶板上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司，未经上海微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110165086.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
