[发明专利]改良的真空室角阀无效
| 申请号： | 201110165947.4 | 申请日： | 2011-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN102220995A | 公开（公告）日： | 2011-10-19 |
| 发明（设计）人： | 阮佳龙;康进昌 | 申请（专利权）人： | 昆山振昆纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | F04D27/00 | 分类号： | F04D27/00 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林;王寿刚 |
| 地址： | 215301 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种改良的真空室角阀，该角阀包括：气缸、进气口、抽气口一、抽气口二、密封片、以及活动接头等。本发明改良的真空室角阀中，所述密封片通过活动接头安装于所述活塞杆的顶端，以及在所述活动接头中所述弧形接头被卡在所述连接槽内且所述弧形接头与连接槽之间留有间隙。因此，当密封片通过所述活塞杆的压力密封住所述分子泵的进气口时，如果所述密封片与所述分子泵的进气口处并非完全贴合在一起，可以通过弧形接头在所述连接槽内的活动而加以自动调整，使得密封片与进气口均匀且紧密的结合在一起，从而提高了密封效果和密封的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 改良 真空 室角阀 | ||
【主权项】：
一种改良的真空室角阀，其特征在于，该角阀包括：气缸（11），其固定于角阀体（10）上；进气口（19），其用于与真空室密封连接；抽气口一（14），其用于与外部机械泵密封连接；抽气口二（18），其作为分子泵（17）的出气口；以及密封片（15），其通过活动接头（16）安装于所述活塞杆（12）的顶端，该密封片（15）通过所述活塞杆（12）的压力可以密封住所述分子泵（17）的进气口；其中，所述活动接头（16）包括：连接槽（21），其位于所述密封片（15）的中部；弧形接头（20），其固定于所述活塞杆（12）的顶端，该弧形接头（20）被卡在所述连接槽（21）中且所述弧形接头（20）与连接槽（21）之间留有空隙。
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