[发明专利]一种硅片收集装置无效
| 申请号： | 201110166567.2 | 申请日： | 2011-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN102328355A | 公开（公告）日： | 2012-01-25 |
| 发明（设计）人： | 聂金根 | 申请（专利权）人： | 镇江市港南电子有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/00 | 分类号： | B28D7/00;B28D5/04 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 季萍 |
| 地址： | 212132 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种硅片收集装置，包括收集槽，其中，所述收集槽上设有出风装置，所述出风装置包括出风管、气源，所述出风管出风口位于所述收集槽内，进风口与所述气源相连，所述出风管的出风口位于所述收集槽底部，且平行与所述收集槽侧壁，所述出风口的端头设有蓬头，硅片落下来时，可通过出风装置喷出风，吹出气体，对硅片进行缓冲，使硅片可缓慢下降，从而，避免硅片被损坏，保证了硅片的质量；另外，可通过控制阀对气体进行调节，从而，保证硅片的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 收集 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片收集装置，包括收集槽，其特征在于，所述收集槽上设有出风装置，所述出风装置包括出风管、气源，所述出风管出风口位于所述收集槽内，进风口与所述气源相连，所述出风管的出风口位于所述收集槽底部，且平行与所述收集槽侧壁，所述出风口的端头设有蓬头。
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