[发明专利]正型感光性树脂组合物及使用该组合物的半导体器件和显示器无效

专利信息
申请号: 201110166574.2 申请日: 2006-11-17
公开(公告)号: CN102393607A 公开(公告)日: 2012-03-28
发明(设计)人: 番场敏夫;水岛彩子 申请(专利权)人: 住友电木株式会社
主分类号: G03F7/075 分类号: G03F7/075;G03F7/022;H01L21/027;H01L23/00;H01L51/52;H01L51/56;G03F7/00
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 代理人: 吴小瑛;任晓华
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明涉及一种正型感光性树脂组合物,其包括(A)碱溶性树脂,(B)重氮醌化合物,(C)一个分子中具有两个或多个氧环丁基的化合物,和(D)用于促进化合物(C)的氧环丁基的开环反应的催化剂。
搜索关键词: 感光性 树脂 组合 使用 半导体器件 显示器
【主权项】:
正型感光性树脂组合物,其包括:(A)碱溶性树脂,(B)重氮醌化合物,(C)一个分子中具有两个或多个氧环丁基的化合物,和(D)催化剂,其用于促进所述化合物(C)的氧环丁基的开环反应。
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