[发明专利]正型感光性树脂组合物及使用该组合物的半导体器件和显示器无效
申请号: | 201110166574.2 | 申请日: | 2006-11-17 |
公开(公告)号: | CN102393607A | 公开(公告)日: | 2012-03-28 |
发明(设计)人: | 番场敏夫;水岛彩子 | 申请(专利权)人: | 住友电木株式会社 |
主分类号: | G03F7/075 | 分类号: | G03F7/075;G03F7/022;H01L21/027;H01L23/00;H01L51/52;H01L51/56;G03F7/00 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 吴小瑛;任晓华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种正型感光性树脂组合物,其包括(A)碱溶性树脂,(B)重氮醌化合物,(C)一个分子中具有两个或多个氧环丁基的化合物,和(D)用于促进化合物(C)的氧环丁基的开环反应的催化剂。 | ||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 使用 半导体器件 显示器 | ||
【主权项】:
正型感光性树脂组合物,其包括:(A)碱溶性树脂,(B)重氮醌化合物,(C)一个分子中具有两个或多个氧环丁基的化合物,和(D)催化剂,其用于促进所述化合物(C)的氧环丁基的开环反应。
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