[发明专利]一种用于硅片切割的主辊无效

专利信息
申请号: 201110166581.2 申请日: 2011-06-20
公开(公告)号: CN102328350A 公开(公告)日: 2012-01-25
发明(设计)人: 聂金根 申请(专利权)人: 镇江市港南电子有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04
代理公司: 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 代理人: 季萍
地址: 212132 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供了一种用于硅片切割的主辊,包括主辊本体,主辊本体上设有多个线槽,所述线槽内上设有弹性垫片,所述弹性垫片与切割线接触的面上设有滚花纹,由于线槽内上设有弹性垫片,弹性垫片与切割线接触的面上设有滚花纹,增加了切割线与主辊接触的摩擦力,避免切割线打滑,避免对硅片的损坏,提高了硅片的加工质量,且本发明结构简单。
搜索关键词: 一种 用于 硅片 切割
【主权项】:
一种用于硅片切割的主辊,包括主辊本体,主辊本体上设有多个线槽,其特征在于,所述线槽内上设有弹性垫片,所述弹性垫片与切割线接触的面上设有滚花纹。
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