[发明专利]耐磨耐腐蚀不锈钢齿轮及其制造方法无效

专利信息
申请号: 201110167211.0 申请日: 2011-06-21
公开(公告)号: CN102268646A 公开(公告)日: 2011-12-07
发明(设计)人: 李维民;戚祖强;赵艳;郭爱青 申请(专利权)人: 深圳开发磁记录股份有限公司
主分类号: C23C14/32 分类号: C23C14/32;C23C14/06
代理公司: 深圳市隆天联鼎知识产权代理有限公司 44232 代理人: 周惠来
地址: 518000 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 一种耐磨耐腐蚀不锈钢齿轮及其制造方法,该制造方法包括采用不锈钢材质制造出齿轮的主体的过程,还包括在该齿轮的主体表面进行真空电弧离子镀CrN层的过程,该CrN层的厚度为4-19µm、表面硬度为1400-2300HV。该齿轮包括不锈钢材质的主体和设置在该主体表面的Cr过渡层、CrN层,该Cr过渡层的厚度为200-1000nm。本发明可以提高化学机械抛光设备的中心齿轮的耐蚀性及耐磨性,增强其使用寿命,从而降低化学机械抛光工艺的成本。
搜索关键词: 耐磨 腐蚀 不锈钢 齿轮 及其 制造 方法
【主权项】:
一种耐磨耐腐蚀不锈钢齿轮的制造方法,包括采用不锈钢材质制造出齿轮的主体的过程,其特征在于,还包括在该齿轮的主体表面进行真空电弧离子镀CrN层的过程,该CrN层的厚度为4‑19µm、表面硬度为1400‑2300HV。
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