[发明专利]一种磁悬浮分子泵及其制造方法

摘要

一种磁悬浮分子泵及其制造方法，所述磁悬浮分子泵包括泵体和设置在所述泵体内腔的转子轴系；所述转子轴系包括转子、第一径向磁轴承、第二径向磁轴承、第一轴向磁轴承和第二轴向磁轴承，所述转子包括转子轴和与所述转子轴固定的叶轮；所述转子轴的中部依此间隔地套设有所述第一径向磁轴承和所述第二径向磁轴承；常态下，转子质心设置于所述转子轴的轴线上并与所述第一径向磁轴承的质心重合。本发明提供的磁悬浮分子泵实现转子的平动和转动两种运动基本相互解耦，从而简化了控制过程，降低了控制难度、提高了磁悬浮分子泵系统控制效率和稳定性。

主权项

一种磁悬浮分子泵，包括泵体（3）和设置在所述泵体（3）内腔的转子轴系；所述转子轴系包括转子、第一径向磁轴承（6）、第二径向磁轴承（9）、第一轴向磁轴承（13）和第二轴向磁轴承（15），所述转子包括转子轴（7）和与所述转子轴（7）固定的叶轮（1）；所述转子轴（7）的中部依此间隔地套设有所述第一径向磁轴承（6）和所述第二径向磁轴承（9），所述转子轴（7）的下部套设有所述第一轴向磁轴承（13）和所述第二轴向磁轴承（15），所述转子轴（7）由所述第一径向磁轴承（6）、所述第二径向磁轴承（9）、所述第一轴向磁轴承（13）和所述第二轴向磁轴承（15）支承；其特征在于：常态下，转子质心（2）设置于所述转子轴（7）的轴线上并与所述第一径向磁轴承（6）的质心重合。