[发明专利]多工位全自动硅片装片机

摘要

本发明公开了一种多工位全自动硅片装片机，解决了手工将硅片装入篮具时存在的碎片率高和生产效率低的问题。包括工作台（1）、电控系统、上料系统、传送系统和装片系统，在电控系统中设置有PLC，在上料系统与装片系统之间的工作台（1）上设置传送系统，在传送系统中设置有硅片传输皮带（7）和硅片传输电机（8），硅片传输电机（8）与PLC电连接，在硅片传输皮带（7）的右侧设置有上料系统的吸片旋转机构（6）；装片系统包括伸入装片机构（12）、装片旋转机构（13）和装片篮具上推机构（14），在伸入装片机构（12）的左侧设置装片旋转机构（13）和装片篮具上推机构（14）。本发明结构简单操作方便，适用对硅片的自动装片。

主权项

一种多工位全自动硅片装片机，包括工作台（1）、电控系统、上料系统、传送系统和装片系统，在电控系统中设置有PLC，上料系统设置在工作台（1）的右端，装片系统设置在工作台（1）的左端，在上料系统与装片系统之间的工作台（1）上设置传送系统，在传送系统中设置有硅片传输皮带（7）和硅片传输电机（8），硅片传输电机（8）与PLC电连接，其特征在于，在硅片传输皮带（7）的右侧设置有上料系统的吸片旋转机构（6），吸片旋转机构（6）包括与PLC电连接的摆动气缸（27），摆动气缸（27）的输出轴通过摆动连轴器（25）与一字形的摆杆（26）的中部固定连接在一起，在一字形的摆杆（26）的两端均分别固定设置有连接吸片气缸（23）的真空吸盘（24）；在硅片传输皮带（7）的左侧设置有装片系统，装片系统包括伸入装片机构（12）、装片旋转机构（13）和装片篮具上推机构（14），伸入装片机构（12）设置在硅片传输皮带（7）的左侧，伸入装片机构（12）包括U形装片手（31），在U形装片手（31）的U形尾部固定设置有连接臂（29），连接臂（29）固定连有滑块螺母（30），滑块螺母（30）与丝杠（44）连接，丝杠（44）与装片手移动电机（45）机械连接，固定在工作台（1）上的装片手移动电机（45）与PLC电连接，在U形装片手（31）的头部上面固定设置有装片前轮（51），在U形装片手（31）的尾部下面固定设置有装片后轮（52），在U形装片手（31）的头部下方的工作台（1）上固定设置有装片皮带驱动轮（53），在U形装片手（31）的尾部的工作台（1）上固定设置有装片皮带被动上轮（54）和装片皮带被动下轮（55），封闭的装片皮带（43）从装片皮带被动下轮（55）开始依次绕过装片皮带被动上轮（54）、装片前轮（51）、装片后轮（52）、装片皮带驱动轮（53）回到装片皮带被动下轮（55），在伸入装片机构（12）的左侧设置装片旋转机构（13）和装片篮具上推机构（14）。