[发明专利]处理装置及成膜方法

摘要

本发明提供一种处理装置及成膜方法。本发明的处理装置用于对多张被处理体实施规定的处理，包括：处理容器构造，其具有处理容器，在处理空间的一侧设置有喷嘴容纳区域，并且在另一侧形成有排气口，该排气口用于排出由喷嘴容纳区域沿水平方向放出的气体；盖部，其用于堵塞处理容器构造的下端的开口部侧；支承体构造，其用于支承被处理体，并且能够插入到处理容器构造内或从处理容器构造内拔出；气体导入部件，其具有被容纳于喷嘴容纳区域内并用于导入气体的气体喷嘴；排气部件，其具有用于排出处理容器构造内的气氛气体的多个排气系统；加热部件，其用于加热被处理体；控制部件，其用于控制整个装置。

主权项

一种处理装置，其用于对多张被处理体实施规定的处理，该处理装置包括：处理容器构造，其在下端设置有开口部，该处理容器构造具有处理容器，该处理容器在内部具有用于容纳上述被处理体的处理空间，在上述处理空间的一侧设置有喷嘴容纳区域，在与上述喷嘴容纳区域相反的一侧设置有狭缝状的排气口；盖部，其用于堵塞上述处理容器构造的下端的上述开口部；支承体构造，其用于支承上述多张被处理体，并且能够插入到上述处理容器构造内或从上述处理容器构造内拔出；气体导入部件，其具有被容纳于上述喷嘴容纳区域内的气体喷嘴；排气部件，其具有用于排出上述处理容器构造内的气氛气体的多个排气系统；加热部件，其用于加热上述被处理体；控制部件，其用于控制上述气体导入部件、上述排气部件及上述加热部件。