[发明专利]一种用于制备非晶薄膜的电弧离子镀冷却装置及其应用无效
| 申请号： | 201110171447.1 | 申请日： | 2011-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN102839353A | 公开（公告）日： | 2012-12-26 |
| 发明（设计）人： | 肖金泉;常正凯;孙超;宫骏;华伟刚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/54 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 白振宇 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于薄膜制备领域，具体地说是一种用于制备非晶薄膜的电弧离子镀冷却装置及其应用，冷却装置包括冷凝剂输入管、冷凝剂输出管、法兰盘、绝缘垫圈及样品台，其中法兰盘通过绝缘垫圈密封安装在电弧离子镀炉体上，所述冷凝剂输入管及冷凝剂输出管的一端分别安装在法兰盘上，并由法兰盘穿出分别与外部流速可控的冷凝剂循环系统的进、出水口连接，冷凝剂输入管及冷凝剂输出管的另一端连接有样品台，该样品台及法兰盘以下的部分冷凝剂输入管和冷凝剂输出管均位于电弧离子镀炉体的真空腔体内；冷却装置可用于非晶薄膜的制备过程中。本发明传承了电弧离子镀沉积速率快的优点，基体温度可有效控制，最终达到改变薄膜结构、进而提高薄膜性能的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制备 薄膜 电弧 离子镀 冷却 装置 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种用于制备非晶薄膜的电弧离子镀冷却装置，其特征在于：包括冷凝剂输入管(6)、冷凝剂输出管(7)、法兰盘(9)、绝缘垫圈(11)及样品台(14)，其中法兰盘(9)通过绝缘垫圈(11)密封安装在电弧离子镀炉体(21)上，所述冷凝剂输入管(6)及冷凝剂输出管(7)的一端分别安装在法兰盘(9)上，并由法兰盘(9)穿出分别与外部流速可控的冷凝剂循环系统的进、出水口连接，冷凝剂输入管(6)及冷凝剂输出管(7)的另一端连接有样品台(14)，该样品台(14)及法兰盘(9)以下的部分冷凝剂输入管(6)和冷凝剂输出管(7)均位于电弧离子镀炉体(21)的真空腔体内。
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