[发明专利]基于横向剪切干涉的扩束准直系统波面像差检测方法

摘要

本发明提供一种基于横向剪切干涉的扩束准直系统波面像差检测方法，具体步骤为：步骤一、在扩束准直系统出射光束的光路上依次设置一维位相光栅和光电探测单元；步骤二、采集对应0、π/2、π、3π/2相移的x方向剪切干涉图采集对应0、π/2、π、3π/2相移的y方向剪切干涉图步骤三、根据x方向剪切干涉图和y方向剪切干涉图获取扩束准直系统的波面像差。本发明所述方法可以消除±3级及±3的倍级衍射光的影响，使得所形成的干涉光波主要集中在±1级衍射光中，从而提高了检测精度。

主权项

1.一种基于横向剪切干涉的扩束准直系统波面像差检测方法，其特征在于，具体步骤为：步骤一、在扩束准直系统出射光束的光路上依次设置一维位相光栅和光电探测单元；并设定扩束准直系统出射光束的传播方向为z轴，并以z轴建立左手坐标系，则水平方向为x轴，竖直方向y轴；其中，一维位相光栅上相邻透光部分设置不同的刻蚀深度使透过相邻透光部分的光波存在180°相位差；同时，两相邻透光部分之间的非透光部分的宽度为p/6，透光部分的宽度为p/3，p为一维位相光栅的周期；且为了保证光电探测单元对剪切干涉图的采样，设定p≥16β，β为光电探测单元203的像元尺寸；步骤二、旋转一维位相光栅，使光栅线条与y轴平行，进一步控制一维位相光栅使其沿x轴方向移动0、p/4、p/2、3p/4，图像探测单元依次采集对应0、π/2、π、3π/2相移的x方向剪切干涉图旋转一维位相光栅，使光栅线条与x轴平行，进一步控制一维位相光栅使其沿y轴方向移动0、p/4、p/2、3p/4，图像探测单元依次采集对应0、π/2、π、3π/2相移的y方向剪切干涉图步骤三、根据x方向剪切干涉图和y方向剪切干涉图获取扩束准直系统的波面像差。