[发明专利]一种Ag2Se纳米线的热蒸发合成方法及电学测量器件制备方法

摘要

本发明属于纳米材料应用领域，具体公开了一种Ag2Se纳米线的基于“气-液-固”机制的热蒸发合成方法及单根Ag2Se纳米线电学测量器件的制备方法。采用纳米Au粒子作为催化剂，在管式炉中加热生长得到Ag2Se纳米线。然后采用光刻技术制备得到微电极阵列，将纳米线置于微电极上后采用FIB沉积技术在纳米线与微电极的交叉区域沉积Pt金属，保证纳米线与微电极之间为良好的欧姆接触，得到单根Ag2Se纳米线电学测量器件。本发明提出的Ag2Se纳米线合成方法设备简单，易于操作、产物为良好单晶；所提出的单根Ag2Se纳米线电学测量器件的制备方法得到的电学测量器件接触电阻低，可靠性高。

主权项

一种基于“气 液 固”机制的热蒸发合成Ag2Se纳米线的方法，其特征在于采用纳米Au颗粒作为催化剂，合成方法步骤如下：1）按2:1摩尔比称取银丝和Se粉，Se粉压实呈小饼，然后将Ag丝和Se饼放在一起，采用悬浮熔炼的方法熔炼得到Ag2Se铸锭；2）将矩形石英衬底（2）和石英管（3）依次用自来水和去离子水清洗；3）采用化学溶液法合成纳米Au胶溶液，将含有Au纳米颗粒的Au胶涂在石英衬底（2）上，晾干待用；4）将上述Ag2Se铸锭压碎成细小颗粒，然后将石英衬底（2）和Ag2Se颗粒（1）放入石英管（3）中抽真空，真空度为1×10 2Pa,进行密封;5)将石英管(3)放入管式炉(5)的加热腔（4）中进行加热，加热温度为860℃，开始进行Ag2Se纳米线生长；6) Ag2Se纳米线合成完成后，将石英管（3）敲碎，取出石英衬底，用超声振荡方法将Ag2Se纳米线从石英衬底（2）上剥离，然后对Ag2Se纳米线进行扫描电子显微镜和透射电子显微镜表征。