[发明专利]基于折叠式法布里-珀罗腔的绝对距离测量方法及装置无效
| 申请号： | 201110175445.X | 申请日： | 2011-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN102288103A | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | 张丽琼;李岩;朱敏昊 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 黄家俊 |
| 地址： | 100084 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了属于激光干涉精密计量领域的一种基于折叠式法布里-珀罗腔的绝对距离测量方法和装置。该方法为：将入射本征光分为正交的两束偏振光，两束偏振光各自经声光可变移频器分别进行上移频和下移频，形成具有频差的正交偏振光束，并入射到折叠式法布里-珀罗腔，使具有频差的正交偏振光束分别与折叠式法布里-珀罗腔的相邻谐振级次谐振，相邻谐振级次频差即为对应折叠式法布里-珀罗腔腔长的自由光谱范围，从而根据自由光谱范围获得法-珀腔长的绝对距离测量。用于实现上述方法的装置可实现纳米级测量精度及数十毫米量级测量范围，适用于数十毫米量程范围内纳米、亚纳米精度的非线性误差校准以及高精度大范围的纳米位移测量系统。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 折叠式 法布里 珀罗腔 绝对 距离 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
基于折叠式法布里‑珀罗腔的绝对距离测量方法，其特征在于：该方法如下：将入射本征光分为正交的两束偏振光，两束偏振光各自经可变声光移频器分别进行上移频和下移频，形成具有频差的正交偏振光束，并入射到折叠式法布里‑珀罗腔，使具有频差的正交偏振光束分别与折叠式法布里‑珀罗腔的相邻谐振级次谐振，相邻谐振级次的频差即为对应折叠式法布里‑珀罗腔腔长的自由光谱范围，根据自由光谱范围计算出对应的折叠式法布里‑珀罗腔腔长，从而实现折叠式法布里‑珀罗腔腔长的绝对距离测量。
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