[发明专利]一种直接制备绒面氧化锌透明导电薄膜的方法无效
| 申请号： | 201110178404.6 | 申请日： | 2011-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN102242345A | 公开（公告）日： | 2011-11-16 |
| 发明（设计）人： | 黄茜;张晓丹;刘阳;魏长春;赵颖 | 申请（专利权）人： | 南开大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 天津佳盟知识产权代理有限公司 12002 | 代理人： | 侯力 |
| 地址： | 300071*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种直接制备绒面氧化锌透明导电薄膜的方法，通过调控溅射气氛中氢气含量，利用氢等离子的刻蚀及辅助迁移作用，实现采用磁控溅射氧化锌陶瓷靶材直接制备具有良好陷光特性的高绒度氧化锌透明导电薄膜。本发明有益效果是：制备绒面氧化锌透明导电薄膜，具有低电阻率、高的宽光谱透过率和高散射绒度，在550nm处散射绒度可达15-60%，同时保持方块电阻小于6Ω/□；直接制备绒面氧化锌透明导电薄膜，可避免后腐蚀工艺带来的大面积均匀性难于控制的问题，同时具有良好的可重复性，利于大面积工业化生产；该薄膜可直接应用于单节及叠层薄膜光伏器件中，有利于提高电池的光吸收及光电转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直接 制备 氧化锌 透明 导电 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
一种直接制备绒面氧化锌透明导电薄膜的方法，其特征在于步骤如下：1）将清洗后的衬底置于溅射腔室中进行预热；2）将溅射腔室抽真空，待真空度小于1×10‑3 Pa时，分别向腔室中通入氩气和氢气作为溅射气体，并对腔室内气压进行调控；3）待腔室内气体压强稳定后，采用氧化锌陶瓷靶材对衬底进行磁控溅射镀膜，直接制备具有绒面结构的氧化锌透明导电薄膜。
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