[发明专利]环保型光刻胶组合物无效
| 申请号： | 201110179507.4 | 申请日： | 2011-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN102279524A | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | 曹成波;王名扬;沈新春;万茂生;周晨;陈锦钊 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 王立晓 |
| 地址： | 250061 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种环保型光刻胶组合物，包括：a.在曝露于辐射时形成碱的含烷烃基的双环胍光碱产生剂，数量足以引发聚合物交联；b.含有酯基的水溶性聚合物；c.含有羟基的水溶性聚合物；d.溶剂。含烷烃基的双环胍光碱产生剂、含有酯基的水溶性聚合物、含有羟基的水溶性聚合物的质量比优选为1∶5～20∶5～20。本发明采用水溶性好的聚合物，避免有机溶剂的污染，且易得到均匀薄膜，含烷烃基的双环胍光碱产生剂制备方法简单，主要原料已商业化，成本低，吸收光谱宽(190～280nm)、光激发效率高，催化活性高。 | ||
| 搜索关键词： | 环保 光刻 组合 | ||
【主权项】：
环保型光刻胶组合物，其特征是，包括：a.在曝露于辐射时形成碱的含烷烃基的双环胍光碱产生剂；b.含有酯基的水溶性聚合物；c.含有羟基的水溶性聚合物；d.溶剂。
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