[发明专利]薄膜形成用蒸镀材及具备该薄膜的薄膜片以及层叠片有效
| 申请号： | 201110179523.3 | 申请日： | 2011-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN102312193A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 黛良享;有泉久美子 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;B32B9/04 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 陈万青;王珍仙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种薄膜形成用蒸镀材及具备该薄膜的薄膜片以及层叠片，所述蒸镀材适于形成透明性及气体遮断性优异的薄膜。一种混合第1氧化物粉末和第2氧化物粉末而成的蒸镀材，其特征在于，第1氧化物粉末为MgO粉末，第1氧化物粉末的第1氧化物纯度为98％以上，第2氧化物粉末为ZnO粉末，第2氧化物粉末的第2氧化物纯度为98％以上，蒸镀材由含有第1氧化物粉末和第2氧化物粉末的颗粒构成，蒸镀材中的第1氧化物与第2氧化物的比率为5～85∶95～15，而且颗粒的碱度为0.1以上。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 形成 用蒸镀材 具备 以及 层叠 | ||
【主权项】：
一种蒸镀材，混合第1氧化物粉末和第2氧化物粉末而成，其特征在于，所述第1氧化物粉末为MgO粉末，所述第1氧化物粉末的第1氧化物纯度为98％以上，所述第2氧化物粉末为ZnO粉末，所述第2氧化物粉末的第2氧化物纯度为98％以上，所述蒸镀材由含有所述第1氧化物粉末和所述第2氧化物粉末的颗粒构成，所述蒸镀材中的第1氧化物与第2氧化物的比率为5～85∶95～15，而且所述颗粒的碱度为0.1以上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三菱综合材料株式会社，未经三菱综合材料株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110179523.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
