[发明专利]一种OLED生产工艺中减少氮气用量的方法无效
| 申请号： | 201110179683.8 | 申请日： | 2011-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN102255055A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 丁和平 | 申请（专利权）人： | 彩虹（佛山）平板显示有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贾玉健 |
| 地址： | 528000 广东省佛*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种OLED生产工艺中减少氮气用量的方法，在OLED生产工艺的黄光区的生产阶段，首先将涂胶前清洗机上的冷却部使用的氮气吹气量设为30ml/s-50ml/s，吹气时间设为35sec-45sec；其次在显影部分用除湿除尘压缩空气和氮气的混合气体来实现显影隔绝，其中除湿除尘压缩空气和氮气质量比为2∶1；然后在感光胶压送和直板烘箱用除湿除尘压缩空气来隔离外界空气；由于使用除湿除尘压缩空气来代替氮气或直接取消部分工位的氮气的使用，达到降低氮气使用量的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 oled 生产工艺 减少 氮气 用量 方法 | ||
【主权项】：
一种OLED生产工艺中减少氮气用量的方法，其特征在于：在OLED生产工艺的黄光区的生产阶段，首先将涂胶前清洗机上的冷却部使用的氮气吹气量设为30ml/s‑50ml/s，吹气时间设为35sec‑45sec；其次在显影部分用除湿除尘压缩空气和氮气的混合气体来实现显影隔绝，其中除湿除尘压缩空气和氮气质量比为2∶1；然后在感光胶压送和直板烘箱用除湿除尘压缩空气来隔离外界空气。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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