[发明专利]石英舟基板支撑杆装置无效
| 申请号： | 201110179693.1 | 申请日： | 2011-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN102280401A | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | 黄兴成 | 申请（专利权）人： | 彩虹（佛山）平板显示有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贾玉健 |
| 地址： | 528000 广东省佛*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种石英舟基板支撑杆装置，通过在石英舟内部安装横截面为圆角矩形的基板支撑杆，以及采用石英材料，这样增大了基板支撑杆与基板接触面，减少基板滑动和装卸时造成擦伤的几率，由此避免了采用圆柱体支撑杆的基板在运动中易产生滑动增大基板擦伤几率的缺陷，以及还能避免采用长方体支撑杆的基板在装卸过程中易产生擦伤的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 舟基板支 撑杆 装置 | ||
【主权项】：
一种石英舟基板支撑杆装置，包括在石英舟(1)内部竖直方向两侧面自下而上依次安装有两个以上水平架构的基板支撑杆(2)，其特征在于：该基板支撑杆(2)是横截面为圆角矩形的柱状杆。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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