[发明专利]一种玻璃盖板镀膜的方法无效
申请号: | 201110179701.2 | 申请日: | 2011-06-29 |
公开(公告)号: | CN102268641A | 公开(公告)日: | 2011-12-07 |
发明(设计)人: | 赵建明 | 申请(专利权)人: | 彩虹(佛山)平板显示有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/08 |
代理公司: | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人: | 杨晔 |
地址: | 528000 广东省佛*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种玻璃盖板镀膜的方法,用有机溶剂清洗蒸镀源,清洗晾干后,在热风炉内205℃温度下干燥110分钟,向蒸镀源中填充高纯度碱金属,并将蒸镀源置入蒸发源中的蒸发源槽中,对玻璃盖板进行清洗;给蒸镀腔装入掩模板,系统对玻璃盖板和掩模板进行对位和接合;蒸镀腔的气体压力下降到1×10-3Pa时,开启蒸镀源的加热源;当蒸镀腔的真空度降到5×10-5Pa,同时腔内的温度达到800℃时,并打开气阀通入氧化性气体;薄膜厚度达到10~200nm时,关闭气阀和加热源,所述的蒸镀腔构成密封环境,在氧化性气体的环境下缓慢蒸发碱金属,所以本发明具有成本低,使用寿命长的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 玻璃 盖板 镀膜 方法 | ||
【主权项】:
一种玻璃盖板镀膜的方法,采用蒸镀设备对玻璃盖板进行镀膜,该蒸镀设备包括蒸发源(8),蒸发源(8)内配置有蒸发源槽和放置掩模板(3)的台架,其特征在于:其方法包括如下步骤:1)用有机溶剂清洗蒸镀源(1),清洗晾干后,在热风炉内200±5℃温度下干燥110 130分钟,向干净并经干燥后的蒸镀源(1)中填充纯度为99.0~99.9999%的碱金属,并将填充碱金属后的蒸镀源(1)置入蒸发源(8)中的蒸发源槽中,关闭蒸发源(8)的腔门;所述的有机溶剂为丙酮或异丙;所述的碱金属为钙或钾;2)盖板清洗机对玻璃盖板(4)进行清洗,要求清洗干净的玻璃盖板对纯水的表面接触角≤5°,并将玻璃盖板(4)放入蒸镀腔(2)中的盖板台架上;3)将掩模板(3)放置在蒸镀腔(2)内的台架上,启动蒸镀设备对玻璃盖板(4)和掩模板(3)进行自动对位和接合;4)启动蒸镀腔(2)的真空系统,对蒸镀腔(2)进行抽真空,蒸镀腔(2)的气体压力下降到1×10 3Pa时,开启蒸镀源(1)的加热源(5);5)当蒸镀腔(2)的真空度降到5×10 5Pa,同时腔内的温度达到800℃时,打开蒸镀源(1)的盒盖,并打开气阀(6)通入氧化性气体,通入的气体流量控制在5~7mL/min;6)薄膜厚度由传感器(7)检测,并控制碱金属的蒸镀速率在0.3~10nm/s,薄膜厚度达到10~200nm时,关闭气阀(6)和加热源(5)。
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