[发明专利]光纤耦合波导光栅传感器及其制备方法无效
| 申请号： | 201110179862.1 | 申请日： | 2011-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN102279007A | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | 张新平;冯胜飞;庞兆广 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | G01D5/26 | 分类号： | G01D5/26;G02B6/34 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 魏聿珠 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 光纤耦合波导光栅传感器及其制备方法，属于纳米生物传感器器件技术领域。光纤耦合波导光栅传感器，其在光纤的端面处镀有介质波导层，在介质波导层上制有光刻胶光栅，介质波导层与光刻胶光栅形成波导光栅结构位于光纤端面上。通过利用紫外激光干涉光刻方法在光纤端面的波导层上制备光栅纳米光学结构，获得一种新型光纤耦合波导光栅传感器器件。该传感器件为探针式光纤传感器件，可实现远程、实时传感检测。该传感器件具有体积小、携带方便、抗干扰能力强等诸多优势，可适用于检测空间狭小，被检测物难以接近、检测环境高温高压、有毒有害等极端情况下的传感检测，可以实现对不透明样品的传感检测。 | ||
| 搜索关键词： | 光纤 耦合 波导 光栅 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
光纤耦合波导光栅传感器，其特征在于：在光纤的端面处镀有介质波导层，在介质波导层上制有光刻胶光栅，介质波导层与光刻胶光栅形成波导光栅结构位于光纤端面上。
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