[发明专利]一种获得精密齐整棱边的MEMS划片方法

摘要

本发明公开了一种能获得精密齐整棱边的MEMS划片方法，属于MEMS微细加工和晶圆划片领域。该方法首先在器件周围刻蚀贯通槽7，器件和晶圆间仅通过带裂片凹槽2的支撑梁3连接；而后在贯通槽7外围一定距离处以划片线4为基准实施划片，划片后便在器件周围形成划片保护环1；最后通过冲压或折断实现单个器件和划片保护环1的分离，完成划片。本方法使得划片工艺产生的缺陷通过划片保护环1与器件隔离，能大幅度减少器件的崩角、崩边、微裂纹等缺陷，使器件获得精密齐整的棱边；同时可采用目前最常用的砂轮划片技术，对划切参数并没有特殊要求，工艺效率高；划片保护环、支撑梁和裂片凹槽可以通过MEMS前道工艺同步得到，没有过多地增加工艺难度和工艺成本。

主权项

一种获得精密齐整棱边的MEMS划片方法，其特征在于：包括如下步骤：步骤1：在晶圆背面绕器件外围一定距离刻蚀不贯通的背面刻蚀槽(11)；步骤2：在晶圆正面做刻蚀，并与步骤1中的背面刻蚀槽(11)贯通，形成贯通槽(7)；所述贯通槽(7)将每个器件的大部分边缘与晶圆隔离开，仅通过带裂片凹槽(2)的支撑梁(3)和晶圆相连；步骤3：在步骤2形成的贯通槽(7)外围一定距离处以划片线(4)为基准实施划片；划片后在器件周围形成了划片保护环(1)；步骤4：通过冲压或折断的方法实现单个器件和划片保护环(1)的分离，完成划片。