[发明专利]用于光声气体传感器的集成红外光源和声检测器

摘要

本发明涉及用于光声气体传感器的集成红外光源和声检测器。光声气体检测器包括集成光源、红外滤波器和声传感器。所述光源、滤波器和声传感器能集成在一个或多个半导体衬底上，如硅。处理电路同样也能集成在该衬底上。另外，光源、滤波器和声传感器能集成在单一组件封装内，例如金属罐晶体管封装。

主权项

一种光声气体传感器组件，包括：承载在半导体衬底上的红外光源；形成在所述半导体衬底或第二半导体衬底之一上的集成扩音器，以及承载在第三衬底上的红外波长选择带通滤波器，其中红外光源,集成扩音器和红外波长选择带通滤波器被集成在单独密封的封装中；在单独密封的封装内的内部隔板结构，其阻止来自红外光源的辐射直接耦合到所述集成扩音器；以及安装在所述密封的封装的单独端上的气体测量单元，其中红外波长选择带通滤波器在所述密封的封装内在气体测量单元的气体测量容积与红外光源之间形成窗口并且其中气体测量容积通过所述密封的封装的面中的开口通信地耦合到集成扩音器。