[发明专利]一种监控薄膜沉积过程异常的方法及系统

摘要

本发明公开了一种监控薄膜沉积过程异常的方法及系统，以确定在对产品进行薄膜沉积的过程中是否发生异常，从而进一步确定沉积得到的薄膜是否合格，提高对薄膜沉积后的产品进行不良检测的准确性，提高出产合格率，降低不良产品流入市场；方法包括：在薄膜沉积过程中实时监控并获取薄膜沉积反应室中的质谱信息；根据获取到的质谱信息生成质谱信息动态变化信息；将所述质谱信息动态变化信息与薄膜沉积过程正常情况下的质谱信息变化信息比较，确定薄膜沉积过程是否异常。

主权项

一种监控薄膜沉积过程异常的方法，其特征在于，包括：在薄膜沉积过程中实时监控并获取薄膜沉积反应室中的质谱信息；根据获取到的质谱信息生成质谱信息动态变化信息；将所述质谱信息动态变化信息与薄膜沉积过程正常情况下的质谱信息变化信息比较，确定薄膜沉积过程是否异常。