[发明专利]具备改进的水冷却结构的坩埚轴无效
| 申请号： | 201110186144.7 | 申请日： | 2011-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN102312287A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 朱亮;王魏;郭建宇;曹建伟;邱敏秀 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 金祺 |
| 地址： | 312300 浙江省绍兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及硅单晶生产的单晶炉设备，旨在提供一种具备改进的水冷却结构的坩埚轴。该坩埚轴的前端具备与热场石墨轴端部相适应的外部形状，坩埚轴的后端沿轴向设置冷却水的进水管和出水管；坩埚轴的内部设有一个空腔，该空腔的存在使得坩埚轴呈空心的壳体状结构；进水管或出水管延伸至空腔中，且在其延伸段末端外沿环设一挡水板，使得挡水板与坩埚轴前端壳体之间、挡水板与坩埚轴侧面壳体之间成为冷却水的流动通道。在原有坩埚轴的基础上，对坩埚轴的内部冷却水流通水路的结构作了合理的优化，坩埚轴冷却效率由原来的30％提高至80％，坩埚轴使用过程中未曾发生与石墨轴烧结、坩埚轴紧固螺丝熔断等现象。 | ||
| 搜索关键词： | 具备 改进 水冷 结构 坩埚 | ||
【主权项】：
具备改进的水冷却结构的坩埚轴，坩埚轴的前端具备与热场石墨轴端部相适应的外部形状，坩埚轴的后端沿轴向设置冷却水的进水管和出水管；其特征在于，坩埚轴的内部设有一个空腔，该空腔的存在使得坩埚轴呈空心的壳体状结构；进水管或出水管延伸至空腔中，且在其延伸段末端的外沿环设一挡水板，使得挡水板与坩埚轴前端部壳体之间、挡水板与坩埚轴侧面壳体之间成为冷却水的流动通道。
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