[发明专利]一种提高靶室晶片传输效率的方法有效
| 申请号： | 201110186452.X | 申请日： | 2011-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN102867768A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 杨亚兵;伍三忠;谢均宇 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高靶室晶片传输效率的方法，包括：主机械手(1)，副机械手(2)，定向台(3)和靶台(4)四大功能模块，主机械手(1)下又有送回到片库(5)、送到定向台(6)、从片库取片(7)、从靶台取片(8)、状态出错(17)和任务结束(19)几个子模块，副机械手(2)下又有送片到靶台(9)和定向台取片(10)2个子模块，定向台下又有等待副机械手取片(11)、等待主机械手送片(12)和定向(13)3个子模块，靶台下又有注入(14)、等待副机械手送片(15)和等待主机械手取片(16)3个子模块，而每个大模块中都有运动出错(18)这个模块。其特征在于：其中所述主机械手(1)、副机械手(2)、定向台(3)和靶台(4)之间执行自己内部的事件，统一由上层模块来协调调配，避免程序内部和流程上的混乱现象，使程序和流程更简洁、更明朗。本发明可以使靶室内同时传送3片，最大化的提高机械手的利用率，缩短空闲时间，提高传输效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 晶片 传输 效率 方法 | ||
【主权项】：
一种提高靶室晶片传输效率的方法，，包括：主机械手(1)，副机械手(2)，定向台(3)和靶台(4)四大功能模块，主机械手(1)下又有送回到片库(5)、送到定向台(6)、从片库取片(7)、从靶台取片(8)、状态出错(17)和任务结束(19)几个子模块，副机械手(2)下又有送片到靶台(9)和定向台取片(10)2个子模块，定向台下又有等待副机械手取片(11)、等待主机械手送片(12)和定向(13)3个子模块，靶台下又有注入(14)、等待副机械手送片(15)和等待主机械手取片(16)3个子模块，而每个大模块中都有运动出错(18)这个模块。其特征在于：其中所述主机械手(1)、副机械手(2)、定向台(3)和靶台(4)之间执行自己内部的事件，统一由上层模块来协调调配，避免程序内部和流程上的混乱现象，使程序和流程更简洁、更明朗。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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