[发明专利]一种全球面投影物镜有效
| 申请号： | 201110187035.7 | 申请日： | 2011-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN102331616A | 公开（公告）日： | 2012-01-25 |
| 发明（设计）人： | 朱红伟;邢廷文;林妩媚;廖志远;廖志杰;张海波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B13/06 | 分类号： | G02B13/06;G02B13/18;G02B13/22;G02B1/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 贾玉忠 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种全球面投影物镜，用于将物平面的图像成像到像平面内。该全球面投影物镜系统，沿其光轴方向包括第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组和第五透镜组。从光束入射方向顺序第一透镜组G1具有正光焦度，第二透镜组G2具有负光焦度，第三透镜组G3具有正光焦度，第四透镜组G4具有负光焦度，第五透镜组G5具有正光焦度。且所述的全球面投影镜组中所有镜片都是球面，不含非球面。本发明的全球面投影镜组能更好地补偿像差，提升成像质量，并提升了系统分辨力，提高光刻效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 球面 投影 物镜 | ||
【主权项】：
一种全球面投影物镜，沿其光轴方向包括第一透镜组(G1)、第二透镜组(G2)、第三透镜组(G3)、第四透镜组(G4)和第五透镜组(G5)，所述透镜均处于同一光轴，其特征在于：从光束入射方向顺序第一透镜组(G1)具有正光焦度，第二透镜组(G2)具有负光焦度，第三透镜组(G3)具有正光焦度，第四透镜组(G4)具有负光焦度，第五透镜组(G5)具有正光焦度，且所述透镜均为球面。
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