[发明专利]预处理蓝宝石衬底提高LED出光效率的方法无效
| 申请号： | 201110188105.0 | 申请日： | 2011-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN102280534A | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | 朱广敏;郝茂盛;张楠;潘尧波;齐胜利;陈诚;袁根如 | 申请（专利权）人： | 上海蓝光科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/22 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种预处理蓝宝石衬底提高LED出光效率的方法，包括：提供蓝宝石衬底，所述蓝宝石衬底具有定位边；在所述蓝宝石衬底上形成掩膜层；在所述蓝宝石衬底上光刻出图形，图形之间具有走道；所述图形为平行四边形，所述平行四边形的一组对边或一条对角线垂直于所述蓝宝石衬底的定位边；在所述图形的走道上刻蚀出沟槽。相较于现有技术，本发明通过在蓝宝石衬底上形成光刻图形，并在光刻图形之间形成沟槽，可以减少外延沉积时的边缘效应，有利于外延的横向沉积，提高侧壁出光，从而使得在后续工艺制备的LED芯片具有更高的出光效率。 | ||
| 搜索关键词： | 预处理 蓝宝石 衬底 提高 led 效率 方法 | ||
【主权项】：
一种预处理蓝宝石衬底提高LED出光效率的方法，其特征在于，包括：提供蓝宝石衬底，所述蓝宝石衬底具有定位边；在所述蓝宝石衬底上形成掩膜层；在所述蓝宝石衬底上光刻出图形，图形之间具有走道；所述图形为平行四边形，所述平行四边形的一组对边或一条对角线垂直于所述蓝宝石衬底的定位边；在所述图形的走道上刻蚀出沟槽。
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