[发明专利]一种相变存储单元阵列的测试装置有效
| 申请号： | 201110188352.0 | 申请日： | 2011-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN102290106A | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | 缪向水;瞿力文;张乐;彭菊红;李震 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G11C29/56 | 分类号： | G11C29/56 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 曹葆青 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种相变存储单元的测试装置，装置包括信号发生器、测量模块、转换连接接口、探针台、控制器、单元阵列接口电路和数字示波器；通过控制器施加控制信号，通过信号发生器施加激励信号，通过测量模块或示波器采集信号完成对相变存储器单元的直流I-V特性、脉冲I-V特性、阈值电压、阈值电流、最小写脉冲幅度，最小写脉冲宽度、最小擦脉冲幅度、最小擦脉冲宽度、数据保持时间和擦写疲劳性测试等电特性测试。本发明能准确的测量相变存储单元的直流I-V特性、脉冲I-V特性、阈值电压、阈值电流、非晶态电阻、晶态电阻、最小写脉冲幅度，最小写脉冲宽度、最小擦脉冲幅度、最小擦脉冲宽度、数据保持时间和擦写疲劳性测试等电特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 相变 存储 单元 阵列 测试 装置 | ||
【主权项】：
一种相变存储器单元阵列测试装置，其特征在于，该装置包括信号发生器(1)、测量模块(2)、转换连接接口(3)、探针台(4)、控制器(5)、单元阵列接口电路(6)和数字示波器(7)；信号发生器(1)通过高频电缆与转换连接接口(3)相连，为测试提供测试信号或电流、电压扫描的激励信号；测量模块(2)通过高频电缆与转换连接接口(3)相连，用来测试电阻、电流 电压扫描中的电压信号、电压 电流扫描中的电流信号；连接转换接口(3)通过高频电缆与探针台(4)或单元阵列接口电路(6)相连，用来整合激励和测试信号，实现激励和测试的一体化连接；控制器(5)通过排线与单元阵列接口电路(6)相连，用来为相变存储器阵列提供字线、位线及必要的控制信号；探针台(4)或单元阵列接口电路(6)通过高频电缆与数字示波器(7)相连，探针台(4)用于测试单元样品时使用，单元阵列接口电路(6)用于阵列测试时使用，数字示波器(7)用于监测测试过程中的信号波形。
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