[发明专利]控制气体氛围的飞秒激光微纳加工装置及其加工方法

摘要

一种控制气体氛围的飞秒激光微纳加工装置及其加工方法，包括真空腔体、可编程位移平台、CCD、显微镜、电离规、电阻规、控制电源、微调阀门、真空泵、飞秒激光、可编程控制位移平台和CCD的计算机的结构。真空腔体、微调阀门和真空泵可进行抽真空与选择性引入气体操作，飞秒激光经显微物镜聚焦后通过光学窗口进入真空腔室与样品作用，真空腔室内的样品由计算机控制位移平台带动进行三维移动。本发明可实现真空条件或一定气体氛围下的飞秒激光微纳加工。

主权项

一种控制气体氛围的飞秒激光微纳加工装置，包括飞秒激光光源（1）、计算机（3）和位移平台（10），其特征在于还有固定在所述的位移平台（10）的真空腔体（4），该真空腔体（4）的构成包括一个不锈钢圆筒形杯体（12），在该杯体的底中央为下光学窗口（16），在下光学窗口（16）上固定一个可调样品台（13），在该杯体口有一固定端盖（14），在该固定端盖（14）的中央是上光学窗口（15），所述杯体的两侧分别有与之相通的进气管（17）和抽气管（18），该进气管（17）的末端设有三个法兰，分别接电阻规（6）、电离规（7）和气体微调阀门（8），所述的电阻规（6）和电离规（7）与控制电源（5）连接，所述的气体微调阀门（8）与气体瓶（9）相连，所述的抽气管（18）通过法兰与真空泵（11）的波纹管连接，所述的真空腔体（4）正上方架设一台带有CCD（2）的显微镜，所述的CCD （2）和位移平台（10）与所述的计算机（3）相连。