[发明专利]一种蒸镀遮罩

摘要

本发明一种蒸镀遮罩，具有遮罩基板，并在遮罩基板上具有至少一遮罩工作单元，遮罩工作单元内具有多个第一贯穿孔槽及多个定位贯穿孔槽组，多个第一贯穿孔槽及多个定位贯穿孔槽组约为平行排列，至少二所述多个定位贯穿孔槽组分别位于多个第一贯穿孔槽的左右最外侧且每一多个定位贯穿孔槽组包括至少一第二贯穿孔槽和至少二定位贯穿口，至少定位贯穿孔槽组的长度和小于等于所述多个第一贯穿孔槽。依据本发明，在遮罩工作单元上设置定位标记，易于辨识，可提供遮罩上每一遮罩工作单元的参考坐标定位选择，亦可提供蒸镀基板上有机薄膜图案的坐标检验，有效提高遮罩对位的精准度。

主权项

一种蒸镀遮罩，具有遮罩基板，并在所述遮罩基板上具有至少一遮罩工作单元，其特征在于，包括：所述遮罩工作单元内具有多个第一贯穿孔槽及多个定位贯穿孔槽组，所述多个第一贯穿孔槽及所述多个定位贯穿孔槽组约为平行排列，至少二所述多个定位贯穿孔槽组分别位于所述多个第一贯穿孔槽的左右最外侧且每一所述多个定位贯穿孔槽组包括至少一第二贯穿孔槽和至少二定位贯穿口，所述至少二定位贯穿孔槽组的长度和小于等于所述多个第一贯穿孔槽。