[发明专利]一种Mg/Zr极紫外多层膜反射镜及其制作方法无效
| 申请号： | 201110189133.4 | 申请日： | 2011-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN102866442A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 朱京涛;周斯卡;李浩川;王占山 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08;G02B1/10;B32B9/04;B32B15/00;C03C17/36 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 林君如 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种Mg/Zr极紫外多层膜反射镜及其制作方法，在超光滑的硅片或玻璃基底上镀制打底层，再交替镀制Mg、Zr膜层形成Mg/Zr周期多层膜，然后在周期多层膜上镀制B4C作为保护层。与现有技术相比，本发明采用熔点高、相态稳定的金属Zr作为多层膜的吸收层，制作出的Mg/Zr极紫外多层膜反射镜克服了Mg/SiC等传统的Mg基多层膜热稳定性差的缺点。同时，在极紫外波段Zr的光学常数合适，Mg/Zr多层膜反射镜保持了Mg基多层膜反射镜优异的光学性能。因此，兼顾了光学性能和热稳定性的Mg/Zr多层膜反射镜，适用于同步辐射光源、空间观测等工作环境温度高的极紫外波段应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mg zr 紫外 多层 反射 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种Mg/Zr极紫外多层膜反射镜，其特征在于，该反射镜包括基底(1)，在基底(1)上依次层叠有打底层(2)、Mg/Zr周期多层膜(5)及保护层(6)，其中Mg/Zr周期多层膜(5)由Mg膜(3)和Zr膜(4)周期性交替镀制构成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于同济大学，未经同济大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110189133.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
