[发明专利]一种蒸镀源及蒸镀镀膜装置有效
| 申请号： | 201110190161.8 | 申请日： | 2011-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN102312198A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 赵军;梅芳 | 申请（专利权）人： | 上方能源技术(杭州)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 湖州金卫知识产权代理事务所(普通合伙) 33232 | 代理人： | 赵卫康 |
| 地址： | 311215 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于半导体、LED、太阳能电池领域的镀膜器，尤其涉及一种蒸镀源及其蒸镀镀膜装置。一种蒸镀源，包括温度控制模块、载流气体进气模块、喂料模块、排气模块和绝热模块，而所述温度控制模块、载流气体进气模块、喂料模块和排气模块均设置于蒸镀源本体中，绝热模块包围蒸镀源本体的外表面。蒸镀镀膜装置包括蒸镀源以及包围蒸镀源的真空腔体室。本发明将组成镀膜设备的各功能模块整合在一个单体结构即蒸镀源本体中，可以达到稳定均匀的温度控制，组成结构简洁紧凑、整体热导性好、熔点高、温度稳定、源材料利用率高、镀膜均匀的蒸镀源及蒸镀镀膜装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸镀源 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸镀源(1)，包括温度控制模块、载流气体进气模块、喂料模块、排气模块和绝热模块(23)，其特征在于：所述温度控制模块、载流气体进气模块、喂料模块和排气模块均设置于蒸镀源本体(2)中，所述绝热模块(23)包围所述蒸镀源本体(2)的外表面。
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