[发明专利]一种沟槽隔离镜面的微扭转镜及其制作方法

摘要

本发明公开了一种沟槽隔离镜面的微扭转镜及其制作方法，属于微光机电系统(MOEMS)领域。该微扭转镜的镜面由被沟槽隔离开的导电镜面1和隔离镜面2组成，所述沟槽被两边为二氧化硅4，中间为多晶硅3的夹心式材料填充。工作时，加电引线锚点7通电后，导电镜面1和其上的活动梳齿8通电，驱动梳齿对在静电力作用下带动整个镜面转动；由于沟槽的存在，隔离镜面2不导电，这样就可以通过不带电的检测梳齿对得到镜面转动引起的准确电容值。整个器件结构简单，设计方法新颖，效果显著，能够有效的测量出活动梳齿和固定梳齿之间电容，很好的实现系统的闭环控制，为微扭转镜器件的性能可靠性和准确性提供了保障，使其具有更为广阔的市场前景。

主权项

一种沟槽隔离镜面的微扭转镜，包括镜面，其特征在于，所述的镜面由被沟槽隔离开的导电镜面(1)和隔离镜面(2)组成；导电镜面(1)和隔离镜面(2)各通过一根支撑梁(5)，分别与加电引线锚点(7)和测试引线锚点(6)连接，使得整个镜面由支撑梁(5)支撑悬置在两个锚点中间；镜面上的沟槽被两边为二氧化硅(4)，中间为多晶硅(3)的夹心式材料填充；所述导电镜面(1)上布有活动梳齿(8)，固定在加电引线固定锚点(11)上的固定梳齿(9)与之构成驱动梳齿对；所述隔离镜面(2)上也布有活动梳齿(8)，固定在测试引线固定锚点(10)上的固定梳齿(9)与之构成检测梳齿对。