[发明专利]一种电场诱导液溶胶微复型的工艺

摘要

一种电场诱导液溶胶微复型的工艺，利用光刻工艺制造出具有一定图形结构的导电模板，在其表面制备一层保护层，选择导电材料作为基材，利用有机溶剂清洗其表面，然后施加压力将处理好的导电模板紧压在基材上，导电模板的支撑部分接触基材，将导电模板与基材置于液溶胶环境中，外接直流电源，在液溶胶中产生相应的电场分布，带电的溶胶颗粒在电场作用下定向移动，进而与基材接触，失去电性沉积成型，得到成型微纳结构，最后除去多余的液溶胶，脱去导电模板，以80-160℃后烘得到的成型微纳结构，本发明能够实现与模板图形对应的微纳结构复型，可广泛应用于各种MEMS/NEMS器件的加工。

主权项

一种电场诱导液溶胶微复型的工艺，其特征在于，包括下列步骤：1)加工微复型过程所需的模板：利用光刻工艺制造出具有一定图形结构的导电模板，在其表面制备一层保护层，即溅射一层SiO2或是旋涂一层与液溶胶不溶的树脂，保护层厚度为微米级至纳米级，2)基材的处理：选择导电材料作为基材，导电材料包括ITO玻璃或金属，利用有机溶剂清洗其表面，3)施加5‑15MPa的压力将处理好的导电模板紧压在基材上，导电模板的支撑部分接触基材，然后将导电模板与基材置于液溶胶环境中，外接电压为80‑200V的直流电源，通电时间为0.5‑3h，在液溶胶中产生相应的电场分布，带电的溶胶颗粒在电场作用下定向移动，进而与基材接触，失去电性沉积成型，得到成型微纳结构，所述的液溶胶为环氧树脂、丙烯酸树脂或是聚氨酯等阴极液溶胶，4)成型微纳结构的后处理：除去多余的液溶胶，脱去导电模板，以80‑160℃后烘得到的成型微纳结构。