[发明专利]一种气动伺服执行机构

摘要

本发明涉及一种气动伺服执行机构，尤其涉及一种以波纹管作为执行元件同时带有无摩擦气浮导轨的气动伺服执行机构，属于工业自动化仪表与系统技术领域。它包括执行元件、气浮导轨、位移传感器、载物台和机构体；执行元件为波纹管；波纹管是气动伺服执行机构的执行元件，气浮导轨由气浮导轨动子和气浮导轨定子组成；位移传感器由读数头和光栅尺组成；其连接关系为：波纹管一端封死，与气浮导轨动子连接，另一端固定在机构体上，机构体上设有波纹管进气孔；载物台安装在气浮导轨动子上；气浮导轨定子的底端固定在机构体上；当气浮导轨正常工作时，气浮导轨动子无摩擦移动；光栅尺固定在载物台的侧面；读数头固定在机构体的一侧，并与光栅尺相对。

主权项

一种气动伺服执行机构，其特征在于：包括执行元件、气浮导轨、位移传感器、载物台(9)和机构体(8)；执行元件为波纹管；波纹管是气动伺服执行机构的执行元件，对气动伺服执行机构提供执行力；气浮导轨由气浮导轨动子(3)和气浮导轨定子(4)组成，用于消除气动伺服执行机构运动过程中的摩擦力；位移传感器由读数头(7)和光栅尺(6)组成，为气动伺服执行机构的位置采集装置，用于对气动伺服执行机构移动位移进行采集和反馈；其连接关系为：波纹管一端封死，并与气浮导轨动子(3)连接，另一端固定在机构体(8)上，机构体(8)上设有波纹管进气孔(2)；载物台(9)安装在气浮导轨动子(3)上；气浮导轨定子(4)的底端固定在机构体上；当气浮导轨正常工作时，气浮导轨动子(3)无摩擦移动；光栅尺(6)固定在载物台(9)的侧面；读数头(7)固定在机构体的一侧，并与光栅尺(6)相对；其工作过程为：打开气源(11)，气体经过过滤器(10)，一路经第一减压阀(12)给气浮导轨定子进气孔(5)通入气体，同时，另一路经第二减压阀(13)经进气孔(2)给波纹管通入气体，气浮导轨正常工作，波纹管推动气浮导轨动子(3)无摩擦运动，带动安装在气浮导轨动子(3)上的载物台(9)一起运动时，读数头(7)能够读出随载物台(9)一起运动的光栅尺(6)的刻度变化量，该变化量等于载物台(9)的移动距离。